近日，在沈阳经济技术开发区开发二十六号路，占地面积9.6万平方米的汉京半导体产业基地已展露形象。崭新的石英厂房、碳化硅厂房、研发中心、员工宿舍等单体建筑整齐列阵，蔚为壮观。



据悉，汉京半导体基地项目总投资10亿元，主要生产集成电路产业专用材料及设备，包括石英、陶瓷、炉管碳化硅零部件、半导体设备先进零部件的开发等。据该项目环评报告显示，项目主要建设内容为新建石英工厂、陶瓷工厂、研发工厂、宿舍楼、动力中心、仓库、门卫室、氢气站、氧气站以及氩气站等。项目建成后产品产量为陶瓷工厂碳化硅立式管700件/年、碳化硅立式舟1320件/年、碳化硅保温桶1800件/年、碳化硅杂件5000件/年；石英工厂石英管3600件/a、石英舟1200t/a、石英保温桶1200件/a、石英杂件24000件/a；研发工厂碳化硅杂件600 件/a。

石英制品

作为半导体工业不可或缺的关键耗材，高纯石英及其制品贯穿了半导体生产全过程，是确保产品质量与性能稳定性的核心要素。石英玻璃材料及制品广泛应用于半导体芯片制程中，是半导体蚀刻、扩散、氧化等工序所需的承载器件与腔体耗材。在半导体集成电路与芯片制造中，石英坩埚、石英管、石英舟、石英支架等各种配件是难以替代的关键材料和制品，涉及半导体晶圆制造的大部分流程。石英制品在使用过程中直接与硅片或晶圆接触，其性能好坏对下游产品的良品率高低将造成直接影响。



据汉京半导体企业负责人介绍，新厂将建成全球半导体石英精密度较高的生产线，也是国内第一条极高纯石英生产线，其对应的是10纳米以下工艺的先进制程。未来，芯片龙头企业将会应用到这些产品。

碳化硅

碳化硅零部件，即以碳化硅及其复合材料为主要材料的设备零部件，被广泛应用于外延生长、等离子体刻蚀、快速热处理、薄膜沉积、氧化/扩散、离子注入等主要半导体制造环节的设备中。



汉京半导体称，目前，全球能生产炉管碳化硅零部件的企业不多，产品交付周期在36个月左右，汉京半导体半导体炉管碳化硅零部件生产线投产后，产品交付周期预计从36个月缩短至12个月，极大缓解行业面临的长交期困境。

辽宁汉京半导体材料有限公司起源于2006年，是一家集精加工生产、检验、销售为一体的高新技术企业。主营多种工业陶瓷产品及半导体、光伏新能源行业石英制品。汉京半导体新厂的研发中心将专注于半导体设备先进零部件的开发，以期尽快取得技术突破，助力我国半导体产业延链补链强链。